Puro-R

Puro-R系列產品是一款適用於FFU的化學過濾器。它提供優良的氣態分子污染物(AMC)去除效率，為潔净的室内空氣把關，進而幫助改善和提升產品的良率。它可以搭配不同配方的化學過濾濾材，達到去除AMC(SEMI F21-1102的氣態污染物分類)的效果。

產品參數

1. 適用面風速：<1.0m/s
2. 可針對不同類型AMC，使用相對應的濾材配方