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化學過濾器
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尾氣處理設備相關零配件與維修包
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化學過濾器
質流量控制器(MFC)
尾氣處理設備相關零配件與維修包
質流量控制器(MFC)
5850E 、 i Series
產品參數
1. Flow Range (Full Scale Capacity): 0 - 1000 slpm
2. Seal Material : Elastomer Seal
3. Accuracy: 1% of FS, 1.5% of FS > 20 slpm
4. Repeatability:0.25% of Rate
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